微區(qū)掃描電化學(xué)是一個(gè)建立在電化學(xué)掃描探針的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)上的，進(jìn)行超高測量分辨率及空間分辨率的非接觸式微區(qū)形貌及電化學(xué)微區(qū)測試系統(tǒng)。微區(qū)掃描電化學(xué)是提供給電化學(xué)及材料測試以極高空間分辨率的一個(gè)測試平臺。每個(gè)都具有高分辨率，長工作距離的閉環(huán)定位系統(tǒng)并安裝于抗震光學(xué)平臺上。不同的輔助選件都安裝于定位系統(tǒng)上，輔助選件包括，如電位計(jì)，為不同掃描探針試驗(yàn)，定位系統(tǒng)提供不同的功能。微區(qū)掃描電化學(xué)是一個(gè)模塊化配置的系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)微區(qū)掃描探針電化學(xué)技術(shù)以及激光非接觸式微區(qū)形貌測試，且安裝位置與樣品非常接近，但是不接觸到樣品。隨著探針測試的進(jìn)行，改變探針的空間位置。然后將所記錄的數(shù)據(jù)對探針位置作圖，微區(qū)掃描電化學(xué)針對不同技術(shù)，該圖可以呈現(xiàn)微區(qū)電化學(xué)電流，阻抗，相對功函或者是表面形貌圖。

微區(qū)掃描電化學(xué)是一個(gè)精密的掃描微電極系統(tǒng)，具有極高空間分辨率。微區(qū)掃描電化學(xué)有很多潛在的應(yīng)用，目前主要用于電沉積和腐蝕科學(xué)中的表面反應(yīng)過程基礎(chǔ)研究、酶穩(wěn)定性研究、生物大分子的電化學(xué)反應(yīng)特性以及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域。